自動300mm晶圓搬送機
AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。
**且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和**。
堅固、可靠和**傳送 ? 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和**性，能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。 ? 薄片，Warped晶圓皆能**搬送。 ? 宏觀觀察位置的*優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。
AL120-12 晶圓搬送機規(guī)格：