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OLS全自動3D激光測量系統

定制/自動化/智能化

由OLS5100激光掃描顯微鏡頭部靈活搭載在定制測量系統中,在保證測試精度的同時,
實現定制化需求下

高質量數據的快速獲取。


· 智能、簡單易用
· 自動化CNC編程
· 定制化



功能特點


3D測量激光顯微鏡LEXT OLS5100

簡化測量檢測流程:

自動創建實驗計劃 / 數據自動填充 / /數據趨勢可視化
簡便的一鍵式操作:
智能掃描 / 便捷分析 / 分析模板
值得信賴的數據
LEXT 專用物鏡 / 4K掃描技術 / 智能物鏡選擇

1. 高精度、快速測量系統

奧林巴斯MEMS掃描振鏡能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的精 確X-Y掃描,采用0.78nm光柵及PEAK算法可在低倍率和高倍率下提供3D數據重建的快速、精準的測量結果。OLS全自動3D激光測量系統在獲得彩色的圖像、激光圖像和3D形貌數據的基礎上, 可以實現線粗糙度( ISO4287標準) 及面粗糙度(ISO25178標準)豐富數據的測量。奧林巴斯以基于可以追溯系統的顯微鏡保證準確度和重復性,讓您對測量結果充滿信心。

2. 實現測試流程智能控制,簡單易操作
智能物鏡選擇助手通過三個簡單的步驟即可為粗糙度選擇合適的物鏡,減少因錯誤選擇物鏡造成的實驗時間浪費。基于Peak算法的快速掃描、針對臺階樣品的跳躍式掃描及HDR掃描保證測試過程智能、精準、快速。從參數設置到數據采集過程的智能控制,操作簡單。

3. 自動化CNC編程,提高測試效率
在一個樣品中,通過移動電動載物臺預先注冊多個位置的坐標信息,顯微鏡可以連續自動獲取多個位置的數據,連續測試相似形貌的樣品時,可將電動載物臺坐標系設定與樣品匹配,實現高效率檢測。相機視野內,檢測目標自動搜索,提高測試精度和速度。可以調用宏工具,讓整個測試工作流程實現自動化,多維度提高測試效率。

4. 滿足多領域定制化服務
硬件定制化:
根據客戶檢測內容及工件大小靈活定制XYZ電動臺及對應自動化方案。
軟件定制化:
根據客戶測試需求定制軟件測量模塊,可以實現批量的數據測試及數據上傳功能,提高數據處理分析效率。





我們的定制解決方案支持多種樣品規格:

12英寸硅晶圓

顯示面板

汽車/機械零件

大型印制電路板(PCB)

電動汽車(EV)電池

太陽能電池


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