特點：
采用提高了解析能力的64bit處理系統 標準配置可*多保存、處理4億點超聲波測定的數據，選購配置*1時，可*多保存、處理20億點超聲波測定的數據。 這樣，以往使用FineSAT Ⅲ時，對8英寸的晶圓進行1次測定并轉換成圖像時的*小測定間距為40 μm，而現在使用FineSAT Ⅴ，標準配置能以20 μm的微小間距取得數據并轉換為圖像，選購配置時，能以10 μm以下的微小間距取得數據并轉換為圖像，所以1次掃描就可完成大樣品的詳細測定。 另外，還可進行支持高精度解析、評價的多種圖像顯示。
掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時間 測定晶圓等大樣品時，掃描儀的掃描速度對測定時間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發生周期降低到1/2，這樣，測定時間縮短了25%*2。 除了加減速時，掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設計的高剛性框架抑制裝置的振動，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。 考慮了設置場所、作業性的裝備 考慮在潔凈室內的使用的情況，掃描儀的門采用上彈方式，同時，作為門的選購件，還準備了防靜電型透明板，提高了防塵性。 為了設置樣品、維護設備時可順暢拆裝臺面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開。 本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。 本體電源ON就可進行升降機的升降操作。不用啟動FineSAT軟件就可動作。 標準裝備便攜控制器。 以往，移動掃描儀內的探頭時，要用鼠標或鍵盤操作顯示器畫面內的按鈕，來回移動視線，查看、操作探頭和監視器或鍵盤。 如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進行微調整。 配備23英寸顯示器，大幅提高數據解析等的視認性、作業性。 可選擇雙顯示器。 *1GUIPC為選購件的情況。 *2與本公司以往機型相比，因條件而有所不同。 *3因測定條件不同，*大掃描速度可能受到限制。
測定晶圓等大樣品時，掃描儀的掃描速度對測定時間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發生周期降低到1/2，這樣，測定時間縮短了25%*2。
除了加減速時，掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過新設計的高剛性框架抑制裝置的振動，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。
標準裝備便攜控制器。 以往，移動掃描儀內的探頭時，要用鼠標或鍵盤操作顯示器畫面內的按鈕，來回移動視線，查看、操作探頭和監視器或鍵盤。
如果使用便攜控制器，不用離開視線，就可對探頭位置進行微調整。
*1GUIPC為選購件的情況。
*2與本公司以往機型相比，因條件而有所不同。
*3因測定條件不同，*大掃描速度可能受到限制。
能將超聲波的測定時間單位設定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。
不斷細微化、多層化的電子裝置的薄層內的缺陷、層間剝離的檢測、深度位置信息的精度提高。
可與圖像銳化軟件（對超聲波信號劣化進行補正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測定后將收集的波形數據解析為測定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進行合格與否判定、統計處理）等高度的解析軟件組合。